Угловые пневматические нормально-закрытые вакуумные клапаны (пневматические угловые вакуумные клапаны с открыт

Вакуумные клапаны с пневматическим управлением Схема работы углового вакуумного клапана приведена на рисунке слева. Когда тарелка вакуумного клапана садится на седло вакуумного клапана (в которое вставлена уплотнительная резинка), вакуумный клапан находится в состоянии «закрыто». Данная серия вакуумных клапанов имеет сильфонное уплотнение штока , что с точки зрения вакуумных технологий является более предпочтительным вариантом по сравнению с уплотнением штока с помощью витонового кольца, хотя сильфонное уплотнение удорожает стоимость вакуумного клапана. Сильфон штока надёжно защищает шток от взаимодействия с вакуумом. Учитывая динамический характер уплотнения штока, а тем более то, что это линейное движение (которое сложнее уплотнить и является менее надёжным по сравнению с вращательным движением), а также принимая во внимание, что сильфоны выдерживают до миллиона и больше циклов, вакуумные клапаны с сильфонным уплотнением штока стали стандартным решением для подавляющего большинства современных вакуумных приложений. Сильфонное уплотнение штока показано на рисунке справа. Важным преимуществом данных вакуумных клапанов является электрополировка всех поверхностей и всех частей вакуумного клапана, что позволяет их применять в высоковакуумных сверхчистых приложениях. Электрополировка значительно уменьшает дегазацию с поверхности. Большая часть вакуумных клапанов, поставляемая нашими конкурентами, не имеет электрополировку поверхности. Технические характеристики электромагнитных угловых вакуумных клапанов с сильфонным уплотнением штока: Сверхвысоковакуумная серия (уплотнение крышки к корпусу клапана – медь , уплотнение тарелки и седла – витон) Высоковакуумная серия (уплотнение крышки к корпусу клапана – витон , уплотнение тарелки и седла – витон) Уплотнение штока привода сильфонное сильфонное Уплотнение тарелки при закрытии клапана Витон Витон Уплотнение крышки и корпуса клапана медь Витон Рабочий диапазон давлений 2500 ... 1х10 -10 Торр (мм.рт.ст.) 2000 ... 1,33х10 -10 мбар 200 ... 1,33х10 -11 кПа 2500 ... 1х10 -8 Торр (мм.рт.ст.) 2000 ... 1,33х10 -8 мбар 200 ... 1,33х10 -9 кПа Герметичность (натекание по гелию) 1х10 -10 Торр×литр/сек 1,33х10 -10 мбар×литр/сек 1,33х10 -11 кПа×литр/сек 1х10 -9 Торр×литр/сек 1,33х10 -9 мбар×литр/сек 1,33х10 -10 кПа×литр/сек Фланцы KF (NW), ConFlat (CF), трубка ConFlat (CF) Температура прогрева клапана 200°С 100°С Температура прогрева пневматического привода 100°С Температура прогрева соленоида 80°С Наработка на отказ Более 1 млн. циклов Материал корпуса Нержавеющая сталь 08Х18Н10 (сталь 304 по AISI) Материал сильфона Нержавеющая сталь 08Х17Н5М3 (сталь AM350 по AISI) Положение при монтаже любое Подаваемое давление сжатого воздуха 4 ... 5,5 атм Индикатор позиции Поставляется опционно Соленоид Поставляется опционно, 24В пост. тока KF16/CF1.33'' KF25 KF40/CF2.75'' KF50 Максимальный перепад давлений при закрытом клапане 2025 Торр 2700 мбар 270 кПа 1800 Торр 2400 мбар 240 кПа 1725 Торр 2300 мбар 230 кПа 1500 Торр 2000 мбар 200 кПа Максимальный перепад давлений при открытии клапана 1500 Торр 2000 мбар 200 кПа Время открытия/закрытия клапана 0,5 сек. 0,6 сек. 0,8 сек. 0,9 сек. Проводимость клапана (молекулярный поток) 6 (литр/сек) 15 (литр/сек) 48 (литр/сек) 82 (литр/сек) Таблица для заказа электромагнитных угловых вакуумных клапанов с сильфонным уплотнением штока Артикул Наименование Фланцы Клапан высоковакуумный угловой электропневматический с витоновым уплотнением корпуса и крышки, нормально-закрытый. PAV-HV-KF-16 Клапан вакуумный угловой электропневматический KF16 нормально-закрытый с закрытием пружиной, без датчика положения и пневмораспределителя, сталь KF16 PAV-HV-KF-25 Клапан вакуумный угловой электропневматический KF25 нормально-закрытый с закрытием пружиной, без датчика положения и пневмораспределителя, сталь KF25 PAV-HV-KF-40 Клапан вакуумный угловой электропневматический KF40 нормально-закрытый с закрытием пружиной, без датчика положения и пневмораспределителя, сталь KF40 PAV-HV-KF-50 Клапан вакуумный угловой электропневматический KF50 нормально-закрытый с закрытием пружиной, без датчика положения и пневмораспределителя, сталь KF50 MAV-HV-CF-133 Клапан вакуумный угловой CF1,33'' (CF16) ручной с витоновым уплотнением корпуса, сталь CF16 (CF1.33") MAV-HV-CF-212 Клапан вакуумный угловой CF2,12'' (CF25) ручной с витоновым уплотнением корпуса, сталь CF25 (CF2.12") MAV-HV-CF-275 Клапан вакуумный угловой CF2,75'' (CF35) ручной с витоновым уплотнением корпуса, сталь CF40 (CF2.75") MAV-HV-CF-338 Клапан вакуумный угловой CF3,38'' (CF50) ручной с витоновым уплотнением корпуса, сталь CF50 (CF3.38") A2518AD1AVX0000752 Клапан вакуумный угловой пневматический без фланцев, труба 0,75 дюйма, сталь Труба 0,75" A2518AD1AVX0001002 Клапан вакуумный угловой пневматический без фланцев, труба 1 дюйм, сталь Труба 1" A2518AD1AVX0001502 Клапан вакуумный угловой пневматический без фланцев, труба 1,5 дюйма, сталь Труба 1,5" A2518AD1AVX0002002 Клапан вакуумный угловой пневматический без фланцев, труба 2 дюйма, сталь Труба 2" Клапан сверхвысоковакуумный угловой электропневматический с медным уплотнением корпуса и крышки, нормально-закрытый. PAV-UHV-CF-133 Клапан вакуумный угловой CF1,33'' (CF16) ручной с медным уплотнением корпуса, сталь CF16 (CF1.33") PAV-UHV-CF-275 Клапан вакуумный угловой CF2,75'' (CF35) ручной с медным уплотнением корпуса, сталь CF40 (CF2.75") PAV-UHV-CF-450 Клапан вакуумный угловой CF2,75'' (CF35) ручной с медным уплотнением корпуса, сталь CF63 (CF4.5") PAV-UHV-CF-600 Клапан вакуумный угловой CF2,75'' (CF35) ручной с медным уплотнением корпуса, сталь CF100 (CF6")