Высоковакуумная CVD-система с двумя зонами нагрева

Описание: Высоковакуумная система CVD с двумя зонами нагрева при температуре 1200℃ оснащена трехканальным массовым расходомером, который обладает высокой точностью и надежностью. Он может точно смешивать 1~3 канала газа. Панель управления оснащена цифровым дисплеем, который интуитивно понятен и эффективен. Высоковакуумная система CVD с двумя зонами нагрева при температуре 1200℃ состоит из трубчатой печи с двумя зонами нагрева, трехканального поплавкового расходомера и высоковакуумного молекулярного насоса. Температура в двух зонах нагрева трубчатой печи регулируется независимо с помощью прецизионного прибора контроля температуры. Регулируя температуру каждой температурной зоны, трубчатая печь может формировать два температурных градиента в зоне нагрева или длинную зону постоянной температуры. Для каждой зоны можно настроить программу повышения и понижения температуры в 30 секциях с защитой от перегрева и короткого замыкания. Фланцы с обеих сторон печной трубы оснащены цифровым вакуумметром и механическим манометром давления, которые можно использовать для контроля атмосферы в печной трубе. В то же время трубчатая печь управляется с помощью сенсорного экрана высокой четкости true color, который прост в использовании. Даже непрофессионалы могут освоить использование прибора после простого обучения, что может значительно повысить эффективность вашего эксперимента. Характеристики: Вакуумная трубчатая печь Модель CY-O1200-50IIT Материал трубки Кварц высокой чистоты Диаметр трубки 50мм Длина трубки 1000мм Длина камеры печи 440мм Длина зоны нагрева 200мм+200мм Рабочая температура 0～1100℃ Точность контроля температуры ±1℃ Режим контроля температуры Программный контроль температуры на 30 или 50 сегментов Вид дисплея ЖК-дисплей Метод герметизации 304 вакуумный фланец из нержавеющей стали Фланцевое соединение Соединитель с наконечником 1/4", соединение KF16/25/40 Вакуум 4.4E-3Па Источник питания AC:220В 50/60Гц Система газоснабжения Модель CY-3Z Газовый канал 3-канальнный Измерительное устройство Массовый расходомер газа Диапазон измерений A канал: 0～100SCCM H2 газ Примечание: Если вам нужны другие диапазоны или типы газа, вам необходимо указать это при заказе. В соответствии с конкретными требованиями заказчика может быть выбран расходомер соответствующего типа газа и диапазона. B канал: 0～300SCCM N2 газ C канал: 0～500SCCM Ar газ Точность измерений ±1.0% от полной шкалы Сопротивление трубопровода давлению 3МПа Перепад рабочего давления 50～300кПа Соединительная труба 304 нержавеющая сталь Газовый канал 304 игольчатый клапан из нержавеющей стали Спецификация соединения Наконечниковый соединитель 1/4" для входа и выхода газа Выхлопная система Модель CY-GZK103-A Молекулярный насос CY-600 Форвакуумный насос Роторно-лопастной насос Скорость перекачки Молекулярный насос: 600л/с Полная производительность перекачки газа: 30 минут вакуум может достигать: 1,0E-3 Па Роторно-лопастной насос: 1,1 л/с Соединение насоса KF40 Соединение выхлопа KF16 Измерение вакуума Составной вакуумметр: Датчик сопротивления + ионизационный датчик Предельный вакум 1.0E-5Па Источник питания AC:220В 50/60Гц