Настольная одиночная система магнетронного распыления постоянного тока (в комплекте с платинчато-роторным насосом)

В комплекте: Установка магнетронного распыления (1 DC) роторно-пластинчатый вакуумный насос водяной охладитель Вакуумная камера a) Размер камеры: φ180 мм × H200 мм b) Материал камеры: кварц c) Режим открытия: верхнее открытие d) Конечный вакуум: 3 Па, 9.0E*10⁻³ Па (с молекулярным насосом) Стол для подложки a) Поворотный + подъемный b) Размещен в нижней части камеры c) Размер: φ100 мм d) Скорость вращения: регулируемая от 1 до 20 об/мин e) Подъем: регулируемый, 40 мм, вручную Пушка для распыления a) Количество: 1 комплект, водяное охлаждение b) Цельный мишень с постоянным магнитом c) Плоская поверхность мишени: круглая d) Перегородка: стандартная, ручная e) Применяемый диаметр мишени: 50 мм, толщина 0.1-3 мм f) Вакуум при распылении: 10 Па – 0.1 Па g) Возможность со-распыления мишеней h) Направление распыления: вниз Вакуумная система Вакуумный насос: a) Ротационный вакуумный насос с лопатками b) Производительность: 1.1 л/с c) Источник питания: 220 В/50 Гц d) Вакуумное измерение: комбинированный вакуумный датчик e) Измерительный диапазон: 1-10⁵ Па Другие характеристики: a) Количество: 1 комплект b) Вместимость резервуара: 9 л c) Скорость потока: 10 л/мин d) Подъемная головка: макс. 10 м e) Охлаждающая мощность: 50 Вт/°C Электрические характеристики: a) Количество: 1 комплект b) Выходная мощность: 0-300 Вт c) Выходное напряжение: 0-600 В d) Метод согласования: авто-согласование e) Отраженная мощность: ≦100 Вт f) Стабильность мощности: ±0.1% g) Метод охлаждения: принудительное охлаждение h) Рабочая температура: от -10°C до 40°C Газовая система: a) Контроль потока: односторонний регулятор массового потока b) Для Ar, диапазон: 0-200 ссс/м c) Тип регулирующего клапана: электромагнитный клапан d) Статическое состояние регулирующего клапана: нормально закрыто Электрическое питание: Однофазное переменное напряжение: 220 В, 50 Гц Система управления: PLC + сенсорный экран