Вакуумный датчик (Вакуумметр) BPG400

Описание: Комбинированный манометр INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG400, функционирует как два датчика в одном компактном устройстве, измеряя от 5 х 10 -10 мбар до атмосферы (3,8 х 10 -10 Торр до атмосферы). Объединение технологий снижает сложность установки, настройки и интеграции. Выберите BPG400 для доступного и повторяемого процесса для измерения давления в одном экономичном пакете. Преимущества: Чрезвычайно широкий диапазон измерения от 5х10 -10 мбар до атмосферы (3.8х10 -10 Торр до атмосферы). Отличная повторяемость процесса в диапазоне давления от 10 -8 … 10 -2 мбар -- 5%. Блокировка Pirani защищает систему Bayard-Alpert от преждевременного выгорания нитей и избыточного загрязнения при работе под высоким давлением. Долговечная иридиевая нить, покрытая оксидом иттрия. Опционально доступен дополнительный графический дисплей, а также интерфейсы Fieldbus. Автоматическая регулировка высокого вакуума Pirani уменьшает вмешательство оператора. Соответствие стандарту: RoHS. Измерение и контроль общего вакуума в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума. Области применения: Измерение давления в полупроводниковых процессах и промежуточных (передаточных камерах). Промышленные покрытия. Измерение и контроль общего вакуума в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума. Технические характеристики: Модель Диапазон измерений мбар 5х10 -10 … 1000 Точность 10 -8 … 10 -2 мбар % от показания ±15 Повторяемость 10 -8 … 10 -2 мбар % от показания 5 Дегазация p < 7.2 х 10 -6 мбар электронная бомбардировка, макс 3 мин. Давление, макс. бар (абсолютное) 2 Температура При работе (внешняя) °C 0 … +50 При хранении °C -20 … +70 Прогрев на фланце с расширением °C 150 Прогрев на фланце без расширения °C 80 Прогрев без электроники °C 150 Потребляемое напряжение В (DC) +20 … +28 Выходной аналоговый сигнал Выходной сигнал В 0 … +10 Диапазон измерений В +0.774 … +10 Зависимость напряжение - давление В на декаду 0.75 Ошибка сигнала В 0.3 / 0.5 Сопротивление нагрузки, мин. кОм 10 Интерфейс (цифровой) (2) RS232C Разъем питания D-Sub, 15-pin, папа Длина кабеля, макс. (3) м (фут) 100 (330) Материалы, взаимодействующие с вакуумом Yt 2 O 3 , Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, нержавеющая сталь, стекло Внутренний объем KF / CF см³ (дюйм³) 24 (1.46) / 34 (2.1) Вес KF / CF г 285 / 550 Степень защиты IP30 Profibus DP Скорость обмена kBaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 Адресс 2 свича (switches) (адрес 00 - 127) или программирование через сеть Цифровые функции Считывание давление, выбор единиц измерения: Торр, мбар, Па. Функция дегазации, регулировка полной шкалы Pirani, контроль состояния вакууметра. Безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки, дает подробную информацию о сигналах тревоги и предупреждениях. Аналоговые функции 0 … 10 В аналоговый выход индикации давления, две реле уставки A + B Реле уставки: Число уставок 2 Реле уставки: Диапазон мбар 1х10 -9 … 100 Реле уставки: Релейные контакты нет, свободный потенциал Реле уставки: Гистерезис % от показания 10 Реле уставки: Диапазон состояния контактов В (DC) 60 Разъем для Profibus DP D-Sub, 9-pin, мама Разъем BPG (аналоговый выход, потребляемое напряжение, уставки) D-Sub, 15-pin, папа DeviceNet™ Протокол D-Sub, 9-pin, мама Скорость передачи данных kBaud 125, 250, 500 или программируется через сеть Длина кабеля 125 kbps м (фут) 500 (1650) Длина кабеля 250 kbps м (фут) 250 (825) Длина кабеля 500 kbps м (фут) 100 (330) MAC ID 2 свича switches (адреса 00 - 63) или программируется через сеть Цифровые функции Считывание давление, выбор единиц измерения: Торр, мбар, Па. Функция дегазации, регулировка полной шкалы Pirani, контроль состояния вакууметра. Безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки, дает подробную информацию о сигналах тревоги и предупреждениях. Аналоговые функции 0 … 10 В аналоговый выход индикации давления, две реле уставки A + B Спецификации DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" Тип устройства ''CG'' для комбинации датчиков I / O slave messaging только опрос Реле уставки: Количество уставок 2 Реле уставки: Диапазон мбар 1х10 -9 … 100 Реле уставки: Релейные контакты нет, свободный потенциал Реле уставки: Гистерезис % от показания 10 Реле уставки: Диапазон состояния контактов В (DC) 60 Потребляемое напряжение DeviceNet™ В (DC) +11 … +25 Потребляемое напряжение датчиком for gauge В (DC) +20 … +28 Разъем для DeviceNet™ Microstyle, 5-pin Разъем для BPG (аналоговый выход, потребляемое напряжение, уставки) D-Sub, 15-pin, папа