Desktop single target DC magnetron Настольный магнетронный распылитель постоянного тока с камерой из нержавеющей стали

Это оборудование представляет собой устройство для нанесения покрытия магнетронным распылением с одной целью, оно может быть использовано при получении металлической пленки, а также в электронных полях, оптических полях, специальной области подготовки керамики, оно, безусловно, может быть использовано при подготовке образцов СЭМ в лаборатории. Этот набор представляет собой одноцелевой магнетронный распылитель, оснащенный высоковакуумной полостью из нержавеющей стали, полость оснащена кварцевой смотровой перегородкой, за которой легко наблюдать и записывать эксперимент; Конструкция полости с отличными вакуумными характеристиками и небольшой формой делает ее очень подходящей для лабораторного использования. В то же время оборудование оснащено вращающимся нагревательным столом для образцов, который позволяет эффективно улучшить однородность пленки и ее качество. Машина имеет модульную конструкцию, простую логику управления и интуитивно понятный интерфейс, что облегчает запуск. Технические характеристики: Держатель образцы Диаметр φ100mm Температура нагрева ≦500℃ Регулируемая скорость ≦20 об/мин Магнетронная пушка Оснащен двухдюймовой магнитной контрольной мишенью, размер мишени: диаметр 50,8 мм, толщина ≈3 мм Вакуумная камера Внутренние размеры φ194mm X 263mm Наблюдательное окошко Прозрачное во всех направлениях Материал камеры 304 stainless steel Способ открытия Верхняя крышка Вакуумная система Предварительный насос Низкошумный двухступенчатый пластинчато-роторный насос Турбомолекулярный насос Турбомолекулярный насос с низким уровнем шума и высокой скоростью перекачки Вакуумметр Композитный вакуумметр, диапазон измерения: 1*10-4Па Входной фланец KF40 Выходной фланец KF16 Вакуум системы 1.0×10 -4 Pa Питание AC 220V 50 Hz Скорость откачки Скорость откачки молекулярного насоса составляет 60 л/с, а скорость откачки вспомогательного насоса - 1,1 л/с. Конфигурация питания Количество источников питания Комплект источников питания постоянного тока Выходная мощность DC 500 Вт Другие параметры Питание AC220V,50Hz Общее питание 2 кВт Вес 80 кг Внешние размеры 550mm X 450mm X750mm