Настольная одиночная система магнетронного распыления постоянного тока (в комплекте с турбомолекулярной. станцией)

В комплекте: Установка магнетронного распыления (1 DC) Турбомолекулярная насосная система Водяной охладитель Толщиномер тонких пленок Вакуумная камера a) Обработка внутренней поверхности: электролитическая полировка b) Размер камеры: φ194 мм × H250 мм c) Материал камеры: нержавеющая сталь 304 d) Окно для наблюдения: φ80 мм (с заслонкой) e) Режим открытия: верхнее открытие, цилиндрическая вспомогательная опора f) Внутреннее освещение g) Конечный вакуум: 9.0E*10⁻⁵ Па Стол для подложки a) Поворотный + нагрев + подъемный b) Нагрев до 200°C (макс.) c) Размещен в нижней части камеры d) Размер: φ100 мм e) Скорость вращения: регулируемая от 1 до 20 об/мин f) Подъем: регулируемый, 40 мм, вручную Пушка для распыления a) Количество: 1 комплект, водяное охлаждение b) Цельный мишень с постоянным магнитом c) Плоская поверхность мишени: круглая d) Перегородка: стандартная, ручная e) Применяемый диаметр мишени: 50 мм, толщина 0.1-3 мм f) Вакуум при распылении: 10 Па – 0.1 Па g) Возможность со-распыления мишеней h) Направление распыления: вниз Вакуумная система Основной насос: a) Ротационный вакуумный насос с лопатками b) Производительность: 2.2 л/с c) Источник питания: 220 В/50 Гц Молекулярный насос (Osaka): a) Производительность: 60 л/с b) Вакуумное измерение: комбинированный вакуумный датчик c) Измерительный диапазон: 10⁻⁵ Па - 10⁵ Па Измеритель толщины пленки a) Количество: 1 комплект, одноканальный b) Разрешение измерения толщины пленки: 0.0136 Å (алюминий) c) Измерительный диапазон: 0–500,000 Å (алюминий) d) Точность измерения толщины пленки: ±0.5% e) Скорость измерения: 100 мс – 1 с/т (по запросу) f) Частота кристалла: 6 МГц Холодильник для воды a) Количество: 1 комплект b) Вместимость резервуара: 9 л c) Скорость потока: 10 л/мин d) Подъемная головка: макс. 10 м e) Охлаждающая мощность: 50 Вт/°C Источник питания постоянного тока a) Количество: 1 комплект b) Выходная мощность: 0–300 Вт c) Выходное напряжение: 0–600 В d) Метод согласования: авто-согласование e) Отраженная мощность: ≦100 Вт f) Стабильность мощности: ±0.1% g) Метод охлаждения: принудительное охлаждение h) Рабочая температура: от -10°C до 40°C Газовая система a) Контроль потока: односторонний регулятор массового потока b) Для Ar, диапазон: 0–200 ссс/м c) Тип регулирующего клапана: электромагнитный клапан d) Статическое состояние регулирующего клапана: нормально закрыто Электрическое питание Однофазное переменное напряжение: 220 В, 50 Гц Система управления: PLC + сенсорный экран